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空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)

簡要描述:阿瑞斯-µVOC空氣分子污染物監(jiān)測系統(tǒng)無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標,通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監(jiān)控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。
uVOC-CAM提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案,不需要采樣,離線測量。

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詳細介紹
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概述:

空氣分子污染物(AMC)對于高科技生產(chǎn)過程是關鍵性因素,特別是微電子行業(yè),有機污染物是生產(chǎn)過程中的消極因素,會導致高科技公司因產(chǎn)品質量問題而產(chǎn)生的成本增加。


無空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標,通過污染物源頭控制、傳播控制,實時監(jiān)控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統(tǒng)來實現(xiàn),持久監(jiān)測AMC濃度,有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預防過濾器突發(fā)性壽命減少等。


阿瑞斯-μVOC提供給客戶一個實時快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測方案,不需要采樣,離線測量。


檢測限達到sub-ppb級

潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC,內(nèi)部來自建筑材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設備維護修理時散發(fā)等,外部來自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物,以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。

一旦AMC空氣分子污染物超標會引起一系列嚴重后果,比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。



可測組份

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

(t-乙酸丁脂)二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

六甲基二硅胺烷(CH3 ) 3SiNHSi(CH3)3

異丙醇(CH3 ) 2CHOH

二乙氨基乙醇(C2H5)2NC2H5OH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

鄰苯二甲酸二辛酯C6H4(C=OOC8H15)2

環(huán)己胺C6H11NH2

鄰苯二甲酸二乙酯C6H4(C=OOC2H5)2

環(huán)聚二甲基硅氧烷(-Si(CH3)2O-)n

鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C = OOC4H9)2

對二氯苯CIC6H4CL

三乙胺(C2H5 ) 3N

鄰苯二甲酸二壬酯C6H4(C=OOC9H19)2

鄰苯二甲酸二環(huán)己酯C6H4(C=OOC6H11)2

鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

磷酸三乙酯(C2H5O ) 3P=0

十甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)5

十二甲基環(huán)五硅氧烷(-Si(CH3)2O-)6

二甲苯(CH3)2C6H4

三甲酚磷酸酯(CH3C6H4O ) 3P=0

三甲基硅醇C3H10OSi

......


亮點

一般特點:

  • 在線連續(xù)質量監(jiān)測全部自動化系統(tǒng)

  • 低濃度VOC監(jiān)測

  • 獨立分開測量有機物成份

  • Sub-ppb檢測限

  • 集成計算機和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能

應用

  • 潔凈間污染物監(jiān)測

  • 過濾器狀態(tài)監(jiān)測

  • 加工過程全組份測量診斷污染物












 
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